中芯訂單有救？ASML放行這些產品
工商時報 數位編輯 2021.11.08
中芯國際今年3月與荷商艾司摩爾簽約的12億美元深紫外光（DUV）微影設備訂單，期限到今年底。圖／中新社

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大陸晶圓代工龍頭中芯國際今年3月與荷商艾司摩爾（ASML）簽約的12億美元（約334億元新台幣）深紫外光（DUV）微影設備訂單，期限到今年底，卻遲遲未有下文。對此，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波近日指出，除了極紫外光（EUV）微影設備無法對大陸客戶出貨之外，其他產品都正常供貨。
綜合陸媒報導，沈波表示，該公司對大陸出口曝光機維持開放態度，並在合乎法律框架下全力支持，除了EUV機台，其他產品都可以向大陸客戶出貨，ASML近年出貨到大陸市場占全球銷量3成，目前在大陸裝機量接近1000台。
至於跟中芯國際的訂單進度，沈波並未透露是否受到美國禁令或是施壓，也沒有對目前到貨進度有所說明。
台積電前營運長蔣尚義擔任副董事長去年底回鍋中芯國際擔任副董事長，外界認為，憑藉著蔣尚義當年在台積電與ASML合作關係，擴大取得EUV機台等半導體生產設備的機會，且目前仍未有下文。
此外，大陸本土也是在半導體自主化推進下，開始發展自家晶圓代工廠所需設備、材料，但就在今年8月，1個半導體行業500人微信群組，討論到光阻劑之際，被稱為「中芯國際光阻劑負責人」的楊曉松卻開嗆，「別扯ArF（氟氬，DUV機台採用的光組劑材料），沒一家能看的，各個都不敢來見我。」引爆方正證券電子首席陳航與其爭執，還回嗆「你算老幾」，在群組吵得火熱。
不少大陸證券分析師表示，隨著市場熱度高，資本市場的人過度自信，但基本上大陸要生產自己能符合中芯國際這家大陸晶圓代工工藝已經較為先進的廠商，還有很大一段距離，楊曉松的確為中芯國際這方面的代表，這也給市場一個省思。
大陸半導體產業重度依賴進口的半導體生產設備，絕大多數來自ASML跟Canon，其中ArF微影設備更是ASML獨家提供，至於上海微電子聲稱可以用來生產28奈米製程，但目前主流供應的設備為生產90奈米製程，與中芯國際極度緊缺的28奈米製程相差甚遠。
中芯國際去年9月底遭到美國出口管制措施限制，導致美企與中芯國際的業務進行受到限制，甚至在12月底又遭到美國商務部將該公司列入實體清單，明確指出中芯國際無法取得製造10奈米以下製程的半導體生產設備，基於該規定，含有美國半導體產品與技術含量的非美公司也受到牽制。
ASML身為全球獨家供應EUV機台的廠商，DUV機台在全球也擁有高市占率，不僅先進製程廠商需要靠其供貨才能生產晶片，成熟製程也需要ASML提供服務，才能順利推動業務。若中芯國際無法取得DUV機台，於北京興建用以28奈米製程、12吋晶圓廠，以及日前宣布在上海、深圳的擴產計畫，預計2023年開出的產能將面臨困境。
根據中芯國際在今年3月公告顯示，雙方2月1日重新簽訂契約，將原定於2018年1月1日至2020年12月31日期間，延長至2021年12月31日。中芯國際回應，將攜手全球產業鏈夥伴，保證該公司生產連續性及擴產規劃不受影響；不過，不確定性依然存在，中芯國際始終堅持依法合規經營，有信心保證公司短期內生產經營不受重大不利影響。根據說明，預計可以取得10台DUV機台，目前情況還得等待中芯國際說明。
（ 中時新聞網 呂承哲）
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