去年七月，南韓啟用全球首家氫能源發電廠，即是由南韓東西部電力公司在忠清南道大山工業園區興建的「大山氫燃料電池發電廠」，每年可以發電四十萬兆瓦（MV），預估可提供十六萬個家庭一年用電需求，這也是目前全球最大的工業氫燃料電池發電廠。

依台積電用電最新統計，二○一九年總能源消耗量達一四三．二七億度，約較前一年增加近十一％；台積電一年用電量約占全台的五％，約三百萬戶家庭一年用電。
台積電估計，新製程機台用電量持續上升，以二○一九年生產十奈米及七奈米單位產品用電量為例，約比十六奈米以上製程技術高出約二倍，整體單位產品用電量因而較基準年上升十七．九％，未能達成原先設定下降十一．五％目標；隨著逐年大手筆增加再生能源使用量、新世代製程機台導入節能等，盼提高省電量。
半導體業界指出，相較於目前以浸潤式微影的半導體製程波長為一九三到一五七奈米，七、五奈米到三、二奈米以下製程的極紫外光（EUV）微影技術，波長僅十三．五奈米，生產過程中，光源導到晶圓的光能量反射耗損大，一台EUV機台輸出二百五十瓦的光源功率，耗電量更大。
南韓「大山氫燃料電池發電廠」與傳統從液化天然氣（LNG）中提取氫氣的一般燃料電池發電廠不同，而是開創性使用化學製造過程中回收的氫氣做為燃料，由鄰近的韓華Total石化生產設施提供，成為不會排放溫室氣體的環保發電廠。
半導體製程產生廢棄氣體包括高濃度的氫氣，通常廢棄氣體是處理過後再排放到大氣中或透過燃燒處理，不但造成氫氣的浪費，處理費用可能相對昂貴，若能將氫氣回收再利用、並轉為電力，將可減少電力對火力等石化燃料的依賴。