陸加速半導體設備自主 設備商：影響有限
2020-06-01 00:13經濟日報 記者簡永祥╱台北報導

美國擴大封殺華為讓台積電5奈米擴建喊停，也加速中國大陸加快半導體設備自主腳步。不過，設備商表示，台積電先進製程領先全球，海思在台積電5奈米龐大的產能未來可由超微、蘋果分食，頂多延後擴充腳步，16及12奈米產能因可由其他晶片廠快速填補，影響有限。

值得注意是，大陸加速扶植自主半導體設備廠，目前出線的廠商包括北方華創、上海微電子、盛美半導體、芯源微電子、至純科技等廠商。

半導體設備業者分析，這些大陸廠商前段設備要導入在14奈米以下製程，仍有難度，與美商設備大廠仍有一大差距，海思的晶片要迴避美方對設備廠的限制，仍相當困難。

半導體業者指出，製程愈先進，對美製設備依賴度越高，中國大陸現階段要以國產設備完全替代進口，仍會困難重重。

不過據了解，包括中芯國際、華虹半導體、華力微電子等大陸晶圓代工指標廠已接獲官方政策指示，加快採用大陸製國產設備，協助海思擺脫美國政策束縛。

據統計，去年中國大陸半導體設備自給率僅13%，中國大陸設備商、研究機構紛紛布局清洗、沉積、光刻、蝕刻、研磨與離子植入設備，企圖在當地半導體製造商持續擴廠過程中逐步實現進口替代的目標。

【記者李珣瑛╱新竹報導】台積電延後5奈米擴建及3奈米試產腳步至明年首季，並通知設備協力廠暫停交貨，恐衝擊設備商後續接單與出貨動能。帆宣董事長兼執行長高新明不諱言，保守看待第2季營運。
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