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來源:財經刊物   發佈於 2021-06-14 10:39

台積電7奈米成功創新 背後來自萬人工程師團隊不眠不休

2021-06-14 10:28經濟日報 記者尹慧中/台北報導

台積電(2330)已出貨的7奈米零缺陷晶片超過10億顆,具體轉換成總面積,已相當於能覆蓋美國曼哈頓13個街區以上,這樣卓越製造的規模背後,業界觀察,很難將成功歸功於某一個人,而是上萬名工程師團隊的合作成果,不過,台積7奈米有別過往製程能更快速提升良率與放量,除人才規模外,還有三個成功因素。(延伸閱讀:台積電PK三星 不敗的五個重要觀察指標)

首先是團隊合作的效率與人機比率提升。7奈米目前是台積電營收與獲利最大來源,創新成功背後除研發副總吳顯揚率領團隊成功初期開發之後,7奈米製程邁入量產的良率提升,則是有「台積電總工程師」之稱的營運組織資深副總經理秦永沛先督軍,並在台積營運副總廖永豪帶領團隊下,執行在晶圓十五B廠2018年成功量產,整體發展一環扣一環。(延伸閱讀:會員專屬/台積電總工程師秦永沛 他的人生有三個幸運)

業界觀察,台積電在研發先進製程到試產、實際量產過程中,採用接力方式,平均而言,大約兩個資深工程師會帶一個後輩,相對競爭者而言,更能傳承相關生產的細節與經驗。

更重要是台積電在智慧化生產下,人機比近年維持高檔,平均一名工程師負責近百台機台之外,更重要是運用感測器分析數據,降低錯誤發生的機率,加上大量導入AI製造,也能減少生產上重複性質的作業。

第二,7奈米製程大量生產後,才導入業界期待多年的極紫外光(EUV)微影技術,並延續至後續的更先進製程。台積電在7奈米鰭式場效電晶體(FinFET)製程技術的首代並未立即採用EUV,而是在7奈米量產取得超過百件客戶產品設計定案後,在第二代7奈米(N7+)技術2018年8月試產時導入EUV製程技術。

業界觀察,台積電的策略有別同業,7奈米採用雙重生產策略,能累積更多應變經驗,在達到EUV採購與學習相關設備操作經驗至一定規模後,因應新設備與新耗材、光源的採用與調整,也因此能更靈活,進而優化EUV生產流程。

第三是首度深化和品質和可靠性部門合作,快速將汽車所需品質系統與生產製程銜接,進而拿下車用領域大單。率隊人物是2017年加入台積電的何軍,當時台積7奈米已於4月試產,他率領團隊分析及測試方法的開發與創新,進而成功偵測製程缺陷並有效攔截有瑕疵的產品,順利協助台積加速7奈米量產品質並後續延用至5奈米。

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